| .. |
|
PM
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
преди 1 година |
|
TM
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
преди 1 година |
|
ClusterGemModel.xml
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
преди 2 години |
|
DBModel.sql
|
df4447c2d2
PMhomeRoutine add VenusDE chambertype
|
преди 1 година |
|
DataGroup.xml
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
преди 1 година |
|
DeviceModel.xsd
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
преди 2 години |
|
EquipmentVariables.xml
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
преди 1 година |
|
EventDefine.xml
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
преди 3 години |
|
IoProviderConfig.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
преди 1 година |
|
LogDefine.json
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
преди 1 година |
|
RecipeFormat.xml
|
9760d40cf7
port simulator
|
преди 3 години |
|
SESequenceFormat.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
преди 1 година |
|
SequenceFormat.xml
|
4259958c23
Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function.
|
преди 1 година |
|
SignalTower.xml
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
преди 1 година |
|
System.sccfg
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
преди 1 година |
|
System_Kepler2200.sccfg
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
преди 1 година |
|
System_Kepler2300.sccfg
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
преди 1 година |
|
System_Venus.sccfg
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
преди 1 година |
|
System_VenusDE.sccfg
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
преди 1 година |
|
System_VenusSE.sccfg
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
преди 1 година |
|
VenusPreProcess.py
|
64c7ef574e
log
|
преди 3 години |
lixiang
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写