| .. |
|
IoBacksideHe.cs
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
před 1 rokem |
|
IoCylinder.cs
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
před 2 roky |
|
IoGasStick.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
před 1 rokem |
|
IoHeartbeat.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
před 2 roky |
|
IoHeater.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
před 1 rokem |
|
IoHighTemperatureHeater.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
před 1 rokem |
|
IoLid.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
před 2 roky |
|
IoMfc.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
IoPressureControl.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
IoPressureMeter.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
před 1 rokem |
|
IoSignalLight.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
před 2 roky |
|
IoSignalTower.cs
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
před 2 roky |
|
IoSwitch.cs
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
před 2 roky |
|
IoTMPressureCtl.cs
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
před 2 roky |
|
IoTMSEPressureCtl.cs
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
před 1 rokem |
lixiang
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能