| .. |
|
PM
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
před 1 rokem |
|
TM
|
b67769ec2c
ui优化
|
před 1 rokem |
|
ClusterGemModel.xml
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
před 2 roky |
|
DBModel.sql
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
před 1 rokem |
|
DESequenceFormat.xml
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
před 1 rokem |
|
DataGroup.xml
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
před 1 rokem |
|
DeviceModel.xsd
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
před 2 roky |
|
EquipmentVariables.xml
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
před 1 rokem |
|
EventDefine.xml
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
před 3 roky |
|
IoProviderConfig.xml
|
dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
|
před 1 rokem |
|
LogDefine.json
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
před 1 rokem |
|
RecipeFormat.xml
|
9760d40cf7
port simulator
|
před 3 roky |
|
SESequenceFormat.xml
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
před 1 rokem |
|
SVID.xls
|
25954d684c
update EquipmentVariables.xml and Secsgem dll
|
před 1 rokem |
|
SequenceFormat.xml
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
před 1 rokem |
|
SignalTower.xml
|
33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
|
před 1 rokem |
|
System.sccfg
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
před 1 rokem |
|
System_Kepler2200.sccfg
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
před 1 rokem |
|
System_Kepler2300.sccfg
|
a850db5a2d
Enhance the cooling algorithm to avoid processed wafer stay loadlock too long.
|
před 1 rokem |
|
System_VenusDE.sccfg
|
3b9c2c346d
1. add missing item in SE/DE Sccfg
|
před 1 rokem |
|
System_VenusSE.sccfg
|
3b9c2c346d
1. add missing item in SE/DE Sccfg
|
před 1 rokem |
|
VenusPreProcess.py
|
64c7ef574e
log
|
před 3 roky |
|
VenusSignalTower.xml
|
7a07ffa5ca
1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml
|
před 1 rokem |
lixiang
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里