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EventDefine.cs
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a5245356d0
source files
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2 년 전 |
GasBoxLeakCheckRoutine.cs
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能(PLC点位未跟新)
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1 년 전 |
GasFlowRoutine.cs
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5e8bf0ff14
1.重绘window窗体
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1 년 전 |
LLPickRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
LLPlaceRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
LoadLockLeakCheckRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
LoadLockPumpRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
LoadLockPurgeRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
LoadLockVentRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
PMControlPressureRoutine.cs
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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1 년 전 |
PMEntity.cs
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ef3841f212
atm模式移除PM控压
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1 년 전 |
PMGasVerificationRoutine.cs
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能(PLC点位未跟新)
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1 년 전 |
PMGaslinePurgeRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
PMHomeRoutine.cs
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818383115c
UI优化
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1 년 전 |
PMLeakCheckRoutine.cs
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能(PLC点位未跟新)
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1 년 전 |
PMPartialPressureRoutine.cs
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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1 년 전 |
PMProcessRoutine.cs
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44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
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1 년 전 |
PMProcess_FA.cs
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44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
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1 년 전 |
PMPurgeRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
PMRoutineBase.cs
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36cc58e22c
fix bug in Venus SE PM in UI,RT,Simulator
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1 년 전 |
PMVATPerformanceRoutine.cs
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818383115c
UI优化
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1 년 전 |
Process.cs
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3cad102221
更新 RT
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2 년 전 |
ProcessDefine.cs
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f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
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1 년 전 |
PumpDownRoutine.cs
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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1 년 전 |
RFPowerSwitchRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
StartDryPumpRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
StartTurboPumpRoutine.cs
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 년 전 |
VentRoutine.cs
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a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
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1 년 전 |
VenusRecipeFileContext.cs
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7d93bf0076
Job Clean function, not finished.
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1 년 전 |
VenusSequenceFileContext.cs
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a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
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1 년 전 |
VirgoRecipeFileContext.cs
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896c7407de
优化log功能
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2 년 전 |
VirgoSequenceFileContext.cs
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896c7407de
优化log功能
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2 년 전 |