| .. |
|
Attributes
|
3b8277256c
1.recipeHead添加expand
|
лет назад: 2 |
|
Properties
|
8582fd7e94
Venus初始版本提交
|
лет назад: 3 |
|
Chamber.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
лет назад: 2 |
|
DataName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
лет назад: 3 |
|
DeviceName.cs
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
лет назад: 2 |
|
EventDefine.cs
|
c223835b1e
enhance AutoCycle module.
|
лет назад: 2 |
|
FADefine.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
лет назад: 3 |
|
GlobalEvents.cs
|
ba61077913
增加拖片功能
|
лет назад: 2 |
|
InvokeName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
лет назад: 3 |
|
Kepler2300Device.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
лет назад: 2 |
|
MFCCalibrationData.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
лет назад: 2 |
|
ModuleName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
лет назад: 3 |
|
PMLeakCheckResult.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
лет назад: 2 |
|
PMVATPerformance.cs
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
лет назад: 2 |
|
PartialPressureResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
лет назад: 2 |
|
ProcessUnitDefine.cs
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
лет назад: 2 |
|
Recipe.cs
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
лет назад: 2 |
|
RecipeResult.cs
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
лет назад: 2 |
|
RtState.cs
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
лет назад: 2 |
|
SCValue.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
лет назад: 3 |
|
SerializeHelper.cs
|
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
|
лет назад: 2 |
|
SubItem.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
лет назад: 2 |
|
VATPerformanceResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
лет назад: 2 |
|
ValveType.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
лет назад: 2 |
|
VenusDevice.cs
|
76a22f462f
1.根据tps提供sequence 添加控压功能
|
лет назад: 2 |
|
VenusMenu.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
лет назад: 2 |
|
Venus_Core.csproj
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
лет назад: 2 |
|
VirgoDevice.cs
|
9760d40cf7
port simulator
|
лет назад: 3 |
sangwq
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.