zhouhr 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job před 7 měsíci
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData před 1 rokem
EFEM add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
EPD 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 před 1 rokem
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 před 1 rokem
IODevices add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
PreAligner b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. před 1 rokem
TM 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job před 7 měsíci
VCE ff6df5295a add SunWay VCE && TMRobot and change by the configitem of VCEX.VceType && TM.TMType. před 8 měsíci
AIRSYSChiller.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType před 1 rokem
AdTecRF.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
AdixenTurboPump.cs 3aee4d6673 1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT před 11 měsíci
CometRF.cs 33d0cd73dd 1.修复Pump Counter 显示错误bug před 11 měsíci
DataDefine.cs 12fa756895 1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing před 1 rokem
DeviceManager.cs 3aee4d6673 1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT před 11 měsíci
ESC5HighVoltage.cs 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job před 7 měsíci
EdwardsPump.cs 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 před 8 měsíci
FinsPlc.cs 9163903164 Kepler2200优化 před 1 rokem
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 před 1 rokem
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design před 2 roky
JetKepler2200APM.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
JetKepler2200BPM.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
JetKepler2300PM.cs 79ffe0c064 1.分开Kepler与Venus SequenceView界面 před 10 měsíci
JetPMBase.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
JetVenusDEPM.cs 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job před 7 měsíci
JetVenusSEPM.cs 9e1a79673e 1. add the item of AutoUnLoad for Job před 7 měsíci
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 před 1 rokem
KeplerSignalTower.cs 7a1faeac74 Redesign the EFEM module for thread safe issue. před 1 rokem
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 před 1 rokem
PendulumValve.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. před 2 roky
RevtechMatch.cs a38cb6d743 1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms před 8 měsíci
SMCChiller.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
SMCChillerDrive.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
SMCShareChiller.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
SkyPump.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 před 8 měsíci
TruPlasmaRF.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE před 8 měsíci
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 před 1 rokem