| .. |
|
AdLinkEthercat
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
преди 1 година |
|
EFEM
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
преди 1 година |
|
EPD
|
c3ef1d5a6e
Wafer loadlock delay function.
|
преди 1 година |
|
EPDs
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
преди 2 години |
|
IODevices
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
преди 1 година |
|
PreAligner
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
преди 1 година |
|
SMIF
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
преди 1 година |
|
TM
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
преди 1 година |
|
VCE
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
преди 1 година |
|
AIRSYSChiller.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
преди 1 година |
|
AdTecRF.cs
|
0f905564d0
加入登录界面和权限管理
|
преди 1 година |
|
AdixenTurboPump.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
преди 1 година |
|
CometRF.cs
|
709c7a1c10
fixed the routing bug while B In B Out.
|
преди 1 година |
|
DataDefine.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
преди 1 година |
|
DeviceManager.cs
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
преди 1 година |
|
ESC5HighVoltage.cs
|
f3bd6b016b
添加部分efem功能
|
преди 2 години |
|
EdwardsPump.cs
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
преди 2 години |
|
FinsPlc.cs
|
c457973fa2
1.添加Revtech Match
|
преди 2 години |
|
JetEPDBase.cs
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
преди 2 години |
|
JetEfem.cs
|
5fc13b3f0c
New Efem design
|
преди 2 години |
|
JetKepler2200APM.cs
|
8b0b067448
Add chamber ISO valve status
|
преди 1 година |
|
JetKepler2200BPM.cs
|
8b0b067448
Add chamber ISO valve status
|
преди 1 година |
|
JetKepler2300PM.cs
|
8b0b067448
Add chamber ISO valve status
|
преди 1 година |
|
JetPMBase.cs
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
преди 1 година |
|
JetVenusDEPM.cs
|
8b0b067448
Add chamber ISO valve status
|
преди 1 година |
|
JetVenusSEPM.cs
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
преди 1 година |
|
JetVenusSEPMBase.cs
|
56f7c900fe
add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0
|
преди 2 години |
|
LzMatch_Ethercat.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
преди 1 година |
|
PendulumValve.cs
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
преди 1 година |
|
PlasmaController.cs
|
75710d35d8
RF Match.
|
преди 2 години |
|
RevtechMatch.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
преди 1 година |
|
SMCChiller.cs
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
преди 1 година |
|
SkyPump.cs
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
преди 1 година |
|
TruPlasmaRF.cs
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
преди 1 година |
|
TruPlasmaRF_Ethercat.cs
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
|
VirgoSignalTower.cs
|
0f905564d0
加入登录界面和权限管理
|
преди 1 година |
hecl
8b0b067448
Add chamber ISO valve status