Kezdőlap Felfedezés Súgó
Regisztráció Bejelentkezés
JetPlasma
/
Kepler-Release
Figyelés 2
Kedvenc 0
Másolás 0
Fájlok Problémák 0 Beolvasztási kérések 0 Wiki
Fa: 8cf03142ec
Branch-ok Tag-ek
Kepler-Release
/
Venus
/
Venus_RT
/
Devices
lixiang ed7c537c19 1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 éve%!(EXTRA string=óta)
EFEM d33079596b 1.优化新版跑片动画 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
EPD c3ef1d5a6e Wafer loadlock delay function. 1 éve%!(EXTRA string=óta)
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 éve%!(EXTRA string=óta)
IODevices ed7c537c19 1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
PreAligner 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. 1 éve%!(EXTRA string=óta)
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. 1 éve%!(EXTRA string=óta)
TM ed7c537c19 1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
VCE 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. 1 éve%!(EXTRA string=óta)
AIRSYSChiller.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 éve%!(EXTRA string=óta)
AdTecRF.cs 996eacc709 VenusDE recipe tolerance enhance 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
AdixenTurboPump.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 1 éve%!(EXTRA string=óta)
CometRF.cs 9a410e084a fix exception: 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
DataDefine.cs 12fa756895 1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing 1 éve%!(EXTRA string=óta)
DeviceManager.cs 9b93f58d68 Add Venus DE OperationView && add the compatibility of the TM&VCE between SETM&DETM 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
ESC5HighVoltage.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 1 éve%!(EXTRA string=óta)
EdwardsPump.cs 75dbbd4da8 添加KeplerSignaltower功能 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
FinsPlc.cs c457973fa2 1.添加Revtech Match 1 éve%!(EXTRA string=óta)
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 éve%!(EXTRA string=óta)
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design 1 éve%!(EXTRA string=óta)
JetKepler2200APM.cs f814cf53a8 1.Add simulator read RF ConfigType function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetKepler2200BPM.cs f814cf53a8 1.Add simulator read RF ConfigType function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetKepler2300PM.cs 3e00375ce8 1.FDC代码逻辑移到PricessDefine 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetPMBase.cs f814cf53a8 1.Add simulator read RF ConfigType function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetVenusDEPM.cs f814cf53a8 1.Add simulator read RF ConfigType function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetVenusSEPM.cs f814cf53a8 1.Add simulator read RF ConfigType function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 1 éve%!(EXTRA string=óta)
KeplerSignalTower.cs 7a1faeac74 Redesign the EFEM module for thread safe issue. 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 éve%!(EXTRA string=óta)
PendulumValve.cs 996eacc709 VenusDE recipe tolerance enhance 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. 2 éve%!(EXTRA string=óta)
RevtechMatch.cs d33079596b 1.优化新版跑片动画 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
SMCChiller.cs 41c5b8a615 Remove the toleranceChecker in SMCChiler && SMCShareChiller 1 éve%!(EXTRA string=óta)
SMCChillerDrive.cs a0f20d03ac add ChillerCheck and Interval to 1s && SE DE Chamber can operate TurboPump freely && fix the bug in GasLeakCheck && close PVN22 after PMPumpDown 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
SMCShareChiller.cs a0f20d03ac add ChillerCheck and Interval to 1s && SE DE Chamber can operate TurboPump freely && fix the bug in GasLeakCheck && close PVN22 after PMPumpDown 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
SkyPump.cs 4109b056f2 Fix exception caused by skypump recivemessage length && socket don't connect 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
TruPlasmaRF.cs aed602cdc9 1.Add Tru rf/match Reconnect function 11 hónapja%!(EXTRA string=óta)
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置 1 éve%!(EXTRA string=óta)