chenkui 2f30fa17c4 1、修复了Wafer_Left_Position上报数据; 1 år sedan
..
SusceptorDefine 56cd0ab611 add framework 2 år sedan
CarrierInfo.cs 56cd0ab611 add framework 2 år sedan
CarrierManager.cs 896c7407de 优化log功能 2 år sedan
MaterialInfo.cs 56cd0ab611 add framework 2 år sedan
WaferInfo.cs 4259958c23 Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function. 1 år sedan
WaferManager.cs 2f30fa17c4 1、修复了Wafer_Left_Position上报数据; 1 år sedan