chenkui 2f30fa17c4 1、修复了Wafer_Left_Position上报数据; 1 vuosi sitten
..
SusceptorDefine 56cd0ab611 add framework 2 vuotta sitten
CarrierInfo.cs 56cd0ab611 add framework 2 vuotta sitten
CarrierManager.cs 896c7407de 优化log功能 2 vuotta sitten
MaterialInfo.cs 56cd0ab611 add framework 2 vuotta sitten
WaferInfo.cs 4259958c23 Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function. 1 vuosi sitten
WaferManager.cs 2f30fa17c4 1、修复了Wafer_Left_Position上报数据; 1 vuosi sitten