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CXMT
master
Kepler-Release
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Venus
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Framework
chenkui
20cbcb4b9a
1、cancel simulator timer update property
1 年之前
..
Common
2f30fa17c4
1、修复了Wafer_Left_Position上报数据;
1 年之前
RTCore
d8b75084d0
添加RT UI 模块选择功能
1 年之前
RTEquipmentLibrary
1929a3510b
1.新版ui界面开发
1 年之前
RTModuleLibrary
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
1 年之前
SequenceControl
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能(模拟器功能暂无)
1 年之前
SimulatorCore
20cbcb4b9a
1、cancel simulator timer update property
1 年之前
Test
da4e6f6a4e
Recipe功能完善
2 年之前
UICore
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
1 年之前