123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115 |
- //using Aitex.Core.RT.Routine;
- //using Aitex.Core.RT.SCCore;
- //using MECF.Framework.Common.Equipment;
- //using System;
- //using System.Collections.Generic;
- //using System.Linq;
- //using System.Text;
- //using System.Threading.Tasks;
- //using Venus_Core;
- //using Venus_RT.Devices;
- //using Venus_RT.Modules.PMs;
- //namespace Venus_RT.Modules.TM
- //{
-
- // class MFControlPressureRoutine : ModuleRoutineBase, IRoutine
- // {
- // private enum ControlPressureStep
- // {
- // PumpDown,
- // Delay1s,
- // StartControlPressure,
- // End
- // }
- // private readonly JetTM _JetTM;
- // private readonly MFPumpRoutine _pumpDownRoutine;
- // private int _controlPressureCheckPoint = 100;
- // private int _controlPressureSetPoint = 90;
- // private int _controlFlowSetPoint = 90;
- // public MFControlPressureRoutine(JetTM jetTM, MFPumpRoutine pumpDownRoutine) : base(ModuleName.TM)
- // {
- // _JetTM = jetTM;
- // _pumpDownRoutine = pumpDownRoutine;
- // }
- // public RState Start(params object[] objs)
- // {
- // _controlPressureCheckPoint= SC.GetValue<int>($"TM.ControlPressureCheckPoint");
- // _controlPressureSetPoint= SC.GetValue<int>($"TM.ControlPressureSetPoint");
- // _controlFlowSetPoint= SC.GetValue<int>($"TM.TM_MFC1.DefaultSetPoint");
- // return Runner.Start(Module, Name);
- // }
- // public RState Monitor()
- // {
- // Runner.Run(ControlPressureStep.PumpDown, PumpingDown, StopPumpDone)
- // .Delay(ControlPressureStep.Delay1s, _delay_1s)
- // .Run(ControlPressureStep.StartControlPressure, StartControlPressure)
- // .End(ControlPressureStep.End, End);
- // return Runner.Status;
- // }
- // private bool PumpingDown()
- // {
- // return _pumpDownRoutine.Start() == RState.Running;
- // }
- // private bool StopPumpDone()
- // {
- // var status = _pumpDownRoutine.Monitor();
- // if (_JetTM.ChamberPressure <= _controlPressureCheckPoint && status == RState.End)
- // {
- // _JetTM.TurnSoftPumpValve(ModuleName.TM, false);
- // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM, false);
- // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM,true);
- // return true;
- // }
- // else
- // {
- // return false;
- // }
- // }
- // private bool StartControlPressure()
- // {
- // _JetTM.TurnN2Valve(true);
- // _JetTM.TurnPurgeValve(ModuleName.TM, true);
- // if (_JetTM.AllPMSlitDoorClosed)
- // {
- // _JetTM.SwitchTMPressureMode(true);
- // _JetTM.SetTMPressure(_controlPressureSetPoint);
- // }
- // else
- // {
- // _JetTM.SwitchTMPressureMode(false);
- // _JetTM.SetTMFlow(_controlFlowSetPoint);
- // }
- // return true;
- // }
- // private bool End()
- // {
- // return true;
- // }
- // public void Abort()
- // {
- // if(_JetTM != null)
- // {
- // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM, false);
- // _JetTM.TurnN2Valve(false);
- // _JetTM.TurnPurgeValve(ModuleName.TM, false);
- // _JetTM.SetTMPressure(0);
- // _JetTM.SetTMFlow(0);
- // }
- // }
- // }
- //}
|