MFControlPressureRoutine.cs 3.5 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115
  1. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  2. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  3. //using MECF.Framework.Common.Equipment;
  4. //using System;
  5. //using System.Collections.Generic;
  6. //using System.Linq;
  7. //using System.Text;
  8. //using System.Threading.Tasks;
  9. //using Venus_Core;
  10. //using Venus_RT.Devices;
  11. //using Venus_RT.Modules.PMs;
  12. //namespace Venus_RT.Modules.TM
  13. //{
  14. // class MFControlPressureRoutine : ModuleRoutineBase, IRoutine
  15. // {
  16. // private enum ControlPressureStep
  17. // {
  18. // PumpDown,
  19. // Delay1s,
  20. // StartControlPressure,
  21. // End
  22. // }
  23. // private readonly JetTM _JetTM;
  24. // private readonly MFPumpRoutine _pumpDownRoutine;
  25. // private int _controlPressureCheckPoint = 100;
  26. // private int _controlPressureSetPoint = 90;
  27. // private int _controlFlowSetPoint = 90;
  28. // public MFControlPressureRoutine(JetTM jetTM, MFPumpRoutine pumpDownRoutine) : base(ModuleName.TM)
  29. // {
  30. // _JetTM = jetTM;
  31. // _pumpDownRoutine = pumpDownRoutine;
  32. // }
  33. // public RState Start(params object[] objs)
  34. // {
  35. // _controlPressureCheckPoint= SC.GetValue<int>($"TM.ControlPressureCheckPoint");
  36. // _controlPressureSetPoint= SC.GetValue<int>($"TM.ControlPressureSetPoint");
  37. // _controlFlowSetPoint= SC.GetValue<int>($"TM.TM_MFC1.DefaultSetPoint");
  38. // return Runner.Start(Module, Name);
  39. // }
  40. // public RState Monitor()
  41. // {
  42. // Runner.Run(ControlPressureStep.PumpDown, PumpingDown, StopPumpDone)
  43. // .Delay(ControlPressureStep.Delay1s, _delay_1s)
  44. // .Run(ControlPressureStep.StartControlPressure, StartControlPressure)
  45. // .End(ControlPressureStep.End, End);
  46. // return Runner.Status;
  47. // }
  48. // private bool PumpingDown()
  49. // {
  50. // return _pumpDownRoutine.Start() == RState.Running;
  51. // }
  52. // private bool StopPumpDone()
  53. // {
  54. // var status = _pumpDownRoutine.Monitor();
  55. // if (_JetTM.ChamberPressure <= _controlPressureCheckPoint && status == RState.End)
  56. // {
  57. // _JetTM.TurnSoftPumpValve(ModuleName.TM, false);
  58. // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM, false);
  59. // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM,true);
  60. // return true;
  61. // }
  62. // else
  63. // {
  64. // return false;
  65. // }
  66. // }
  67. // private bool StartControlPressure()
  68. // {
  69. // _JetTM.TurnN2Valve(true);
  70. // _JetTM.TurnPurgeValve(ModuleName.TM, true);
  71. // if (_JetTM.AllPMSlitDoorClosed)
  72. // {
  73. // _JetTM.SwitchTMPressureMode(true);
  74. // _JetTM.SetTMPressure(_controlPressureSetPoint);
  75. // }
  76. // else
  77. // {
  78. // _JetTM.SwitchTMPressureMode(false);
  79. // _JetTM.SetTMFlow(_controlFlowSetPoint);
  80. // }
  81. // return true;
  82. // }
  83. // private bool End()
  84. // {
  85. // return true;
  86. // }
  87. // public void Abort()
  88. // {
  89. // if(_JetTM != null)
  90. // {
  91. // _JetTM.TurnFastPumpValve(ModuleName.TM, false);
  92. // _JetTM.TurnN2Valve(false);
  93. // _JetTM.TurnPurgeValve(ModuleName.TM, false);
  94. // _JetTM.SetTMPressure(0);
  95. // _JetTM.SetTMFlow(0);
  96. // }
  97. // }
  98. // }
  99. //}