lixiang 401ccfc861 1.修复TM控压不稳bug,LL Vent未计时关闭原因 10 月之前
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IoBacksideHe.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function 1 年之前
IoCylinder.cs 608cf43d67 1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行 1 年之前
IoGasStick.cs 5ce110574e 1,添加cooling功能 10 月之前
IoHeartbeat.cs 5ce110574e 1,添加cooling功能 10 月之前
IoHeater.cs 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 1 年之前
IoHighTemperatureHeater.cs 5ce110574e 1,添加cooling功能 10 月之前
IoHongHuControl.cs 0bea20360b add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM 1 年之前
IoLid.cs a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300 1 年之前
IoMagnet.cs 7a07ffa5ca 1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml 10 月之前
IoMfc.cs 401ccfc861 1.修复TM控压不稳bug,LL Vent未计时关闭原因 10 月之前
IoPressureControl.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 11 月之前
IoPressureMeter.cs 9163903164 Kepler2200优化 11 月之前
IoSignalLight.cs af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 2 年之前
IoSignalTower.cs 7a07ffa5ca 1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml 10 月之前
IoSwitch.cs 8f80478982 1.添加IoSwitch 1 年之前
IoTMPressureCtl.cs 3ac2e3bc3a 1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码(Venus样机独有功能) 1 年之前
IoTMSEPressureCtl.cs 31bbc4482b update ui && rt && simu for Venus SE 1 年之前