| .. |
|
IoBacksideHe.cs
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
vor 1 Jahr |
|
IoCylinder.cs
|
af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
|
vor 1 Jahr |
|
IoGasStick.cs
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
vor 1 Jahr |
|
IoHeartbeat.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
vor 2 Jahren |
|
IoHeater.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
vor 1 Jahr |
|
IoHighTemperatureHeater.cs
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
IoHongHuControl.cs
|
d331213da1
1.SETM Pressure Control update
|
vor 1 Jahr |
|
IoLid.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
vor 1 Jahr |
|
IoMagnet.cs
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
vor 1 Jahr |
|
IoMfc.cs
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
vor 1 Jahr |
|
IoPressureControl.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
vor 1 Jahr |
|
IoPressureMeter.cs
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
vor 1 Jahr |
|
IoSignalLight.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
vor 2 Jahren |
|
IoSignalTower.cs
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
vor 1 Jahr |
|
IoSwitch.cs
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
vor 1 Jahr |
|
IoTMPressureCtl.cs
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
vor 1 Jahr |
|
IoTMSEPressureCtl.cs
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
vor 1 Jahr |
lixiang
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存