Startsida Utforska Hjälp
Registrera dig Logga in
JetPlasma
/
Kepler-Release
Bevaka 2
Stjärnmärk 0
Fork 0
Filer Ärenden 0 Pull-förfrågningar 0 Wiki
Träd: 3cb931b12b
Grenar Taggar
Kepler-Release
/
Venus
/
Venus_RT
/
Modules
/
EFEM
lixiang d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 1 år sedan
..
EFEMAlignRoutine.cs c5ba2fb197 Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer. 1 år sedan
EfemEntity.cs d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 1 år sedan
EfemHomeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 år sedan
EfemPickRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 år sedan
EfemPlaceRoutine.cs 96661cadab 修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug 1 år sedan
EfemSwapRoutine.cs e61f018b66 Manual Return wafer while running cycle. 1 år sedan