| .. |
|
UILayout.xml
|
818383115c
UI优化
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2200A.xml
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2200B.xml
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2300.xml
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenus.xml
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenusDE.xml
|
d18b2c8e6a
Add VenusDE PM UI, Viewmodel, Simulator
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenusSE.xml
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenusSE_MF.xml
|
e2c4a51efe
1.Add VenusDE JetVenusDEPM control
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenus_MF.xml
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
1 vuosi sitten |
lixiang
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能