lixiang 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug 10 місяців тому
..
EFEMAlignRoutine.cs 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug 10 місяців тому
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 11 місяців тому
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. 1 рік тому
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 1 рік тому
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 1 рік тому
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. 1 рік тому
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 1 рік тому