lixiang 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 10 месеца
..
EFEMAlignRoutine.cs 38b40b702d 1.修复all in all out 不做cooling bug преди 10 месеца
EfemEntity.cs add331513f 1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID,Process History 切recipe 保留原查询信息 преди 11 месеца
EfemHomeRoutine.cs 4f7a01400f fix the sync issue for efem socket. преди 1 година
EfemPickRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 1 година
EfemPlaceRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 преди 1 година
EfemSwapRoutine.cs 5687e44ebc Enhance routing algorithm. преди 1 година
sysdiag-all-5.0.75.6-2024.06.24.1.exe 5ce110574e 1,添加cooling功能 преди 1 година