.. |
Framework
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
RecipeEditorControl
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
ThirdParty
|
e867b47d0c
1.添加VAT VATPerformance和PartialPressure界面及数据对比图标
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_Core
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM,更新界面及rt
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_MainPages
|
29b9af7ccc
增加waferhistory界面与逻辑
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_RT
|
6fb68b7c84
修改HomeRoutine、JetEfem中Track解析、Simulator中track相关的回复
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_Setup
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_Simulator
|
6fb68b7c84
修改HomeRoutine、JetEfem中Track解析、Simulator中track相关的回复
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_Themes
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM,更新界面及rt
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus_UI
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
packages
|
34b0a3fbfa
1.添加recipe模块功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
Venus.sln
|
5987f80b26
1.增加sequence控件以及sequence内容编辑保存
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |