| .. |
|
EFEM
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
|
LLs
|
78c3954cfc
Enhance the routing algorithm.
|
před 2 roky |
|
LPs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
|
PMs
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
před 2 roky |
|
Schedulers
|
0a0308458e
Enable drag wafer while module offline.
|
před 2 roky |
|
TM
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
|
VCE
|
a980a39acf
add read delay in IoCylinder && add unknown error codes with VPA driver && add VceEntity
|
před 2 roky |
|
AutoCycle.cs
|
a8ee956c5e
Fixed the Cycle Wafer Count and throughput calculation bugs.
|
před 2 roky |
|
Autotransfer_LP_FA.cs
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
před 2 roky |
|
EntityTaskBase.cs
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
před 2 roky |
|
ManualTransfer.cs
|
501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
|
před 2 roky |
|
ResourceMonitor.cs
|
0ed42d17d1
fix bugs for WaferOffset
|
před 2 roky |
|
RouteManager.cs
|
1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
|
před 2 roky |
|
TMCycle.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
lixiang
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试