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VenusSE
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afc3b9494f
VenusSE TM pressurecontrol update
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1 年之前 |
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DeviceModelVenusDE_MF.xml
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d95b8c7876
cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE
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11 月之前 |
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DeviceModelVenusSE_MF.xml
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d331213da1
1.SETM Pressure Control update
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1 年之前 |
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DeviceModelVenus_MF.xml
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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1 年之前 |
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SETMInterlock.xml
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1b165a2e61
Venus DE update && Venus SE simulator update
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1 年之前 |
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TMInterlock.xml
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5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
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1 年之前 |
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_ioDefineVenusDE_MF.xml
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0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add
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11 月之前 |
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_ioDefineVenusSETest_MF.xml
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9d9b666ea4
Venus SE Update
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1 年之前 |
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_ioDefineVenusSE_MF.xml
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c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
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1 年之前 |
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_ioDefineVenus_MF.xml
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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1 年之前 |
hecl
0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add