Начало Каталог Помощ
Регистрация Вход
JetPlasma
/
Kepler-Release
Наблюдаван 2
Харесван 0
Разклонения 0
Файлове Задачи 0 Заявки за сливане 0 Уики
ИН на ревизия: 01dafac8f1
Клонове Маркери
Kepler-Release
/
Venus
/
Venus_RT
/
Devices
/
EFEM
lixiang d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 преди 1 година
..
EfemBase.cs aaff066e93 EFEM Align UI RT 更新 преди 1 година
EfemDevice.cs 44fc6989ef 1、Remove FabConnect dll file; преди 1 година
EfemInterface.cs f211c4242f Efem module raw design. преди 1 година
EfemMessage.cs ef5f92cb47 Modify the out-of-bounds error caused by unknown EFEM errors преди 1 година
JetEfem.cs d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 преди 1 година
Loadport.cs 2f30fa17c4 1、修复了Wafer_Left_Position上报数据； преди 1 година