Commit History

Upphovsman SHA1 Meddelande Datum
  lixiang 1931fc55d3 1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息 5 månader sedan
  sangwq 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 år sedan
  lixiang 379fe79c7b 1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能 1 år sedan
  lixiang e0817cb012 现场bug修改 1 år sedan
  sangwq b8bd250b4e TM/LL Pump/Vent/Purge done. 2 år sedan
  sangwq 241a8a2f5d UPDATE 20230324 2 år sedan