 lixiang
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f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
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3 ヶ月 前 |
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lixiang
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6ec37ea42c
1.与Venus分开，删除冗余代码
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3 ヶ月 前 |
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lixiang
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1931fc55d3
1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息
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5 ヶ月 前 |
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lixiang
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add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
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5 ヶ月 前 |
 zhouhr
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b6309f712c
upload for Venus SE/DE
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5 ヶ月 前 |
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lixiang
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10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
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6 ヶ月 前 |
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lixiang
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7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
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7 ヶ月 前 |
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lixiang
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ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
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7 ヶ月 前 |
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lixiang
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79ffe0c064
1.分开Kepler与Venus SequenceView界面
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8 ヶ月 前 |
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zhouhr
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3aee4d6673
1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT
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8 ヶ月 前 |
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lixiang
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ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
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9 ヶ月 前 |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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9 ヶ月 前 |
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lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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10 ヶ月 前 |
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lixiang
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2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
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10 ヶ月 前 |
 hecl
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c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
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10 ヶ月 前 |
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lixiang
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464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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c671c999c0
ui界面优化
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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11 ヶ月 前 |
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hecl
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996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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07b8ea7e19
让fdc只支持Process Type
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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17ae6db63c
kepler2200/Kepler2300 添加FDC 功能
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11 ヶ月 前 |
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lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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1 年間 前 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 年間 前 |
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lixiang
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d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
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1 年間 前 |
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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1 年間 前 |
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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1 年間 前 |
 chenkui
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563a30f852
1、add recipe event notify;
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1 年間 前 |
