 hecl
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e2836bfbda
1.Chamber DE process enhance
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10 mesi fa |
 lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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10 mesi fa |
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lixiang
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6dc3e20037
添加Mfc calibration 流气后，等待钟摆阀完全关闭的step
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11 mesi fa |
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lixiang
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d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
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1 anno fa |
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hecl
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f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
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1 anno fa |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 anno fa |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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1 anno fa |
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lixiang
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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1 anno fa |
 sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 anno fa |
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lixiang
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93b4531b7b
robot 不能home问题提交
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1 anno fa |
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lixiang
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dbf06a2134
添加TM Operation界面
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1 anno fa |
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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1 anno fa |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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1 anno fa |
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lixiang
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796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
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1 anno fa |
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sangwq
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c4864f5546
debug gas verification.
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2 anni fa |
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sangwq
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bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
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2 anni fa |
