 lixiang
|
2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
|
6 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
7 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
|
8 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
8 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
|
9 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
9 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
9 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
b67769ec2c
ui优化
|
11 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
11 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
34bdc228de
Datalog添加高温Heater温度显示
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
12bf5aaba7
高温heater功能添加
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
de2f4fea7e
优化abort下拉功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
1 vuosi sitten |
