 lixiang
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
пре 2 месеци |
|
lixiang
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
пре 4 месеци |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
пре 6 месеци |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
пре 7 месеци |
|
lixiang
|
b67769ec2c
ui优化
|
пре 8 месеци |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
пре 8 месеци |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
|
пре 10 месеци |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
пре 11 месеци |
|
lixiang
|
5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
пре 1 година |
