 lixiang
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f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
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hace 2 meses |
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lixiang
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38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
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hace 4 meses |
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lixiang
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a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
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hace 6 meses |
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lixiang
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a9d8e56970
1.扩展alarm list
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hace 7 meses |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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hace 8 meses |
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lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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hace 8 meses |
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lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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hace 10 meses |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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hace 10 meses |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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hace 10 meses |
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lixiang
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d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
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hace 10 meses |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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hace 11 meses |
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lixiang
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5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
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hace 1 año |
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lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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hace 1 año |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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hace 1 año |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hace 1 año |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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hace 1 año |
