 hecl
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f9b485c583
1.change pressurecontrol before opendoor from ChamberPressure to ProcessPressure
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hace 1 año |
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hecl
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31019683d7
1.Venus MFCVerification UI enhance
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hace 1 año |
 lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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hace 1 año |
 sangwq
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1b11b89cd6
handle the Scheduler wafers while destination PM unexpected offline.
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hace 1 año |
 zhouhr
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01f4eaa5de
fix the bug in SEMFSwapRoutine
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hace 1 año |
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sangwq
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da0e19a78e
enhance the error handling routine while PM offline.
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hace 1 año |
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sangwq
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1d60dcb593
Fix the bugs about Exclude/Include feature.
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hace 1 año |
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sangwq
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9d5c9aa491
Reset PMTask while after system abort.
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hace 1 año |
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zhouhr
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253fcb8be2
add CassetteArrive,CurrentSlot in UI,RT,Simulator
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hace 1 año |
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lixiang
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2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
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hace 1 año |
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hecl
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0390869f30
1.Add recipe save as/rename function Messagebox and invalid recipename Messagebox
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hace 1 año |
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lixiang
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e81e8a5c12
IoSensor和管路 优化
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hace 1 año |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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hace 1 año |
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hecl
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1a56dd552c
fix bugs
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hace 1 año |
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hecl
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e2836bfbda
1.Chamber DE process enhance
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hace 1 año |
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lixiang
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bc5ca0010e
Venus_Core.csproj 添加代码库
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hace 1 año |
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lixiang
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9faf7dc26a
拉取代码软件报警，去除默认Aligner1
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hace 1 año |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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hace 1 año |
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sangwq
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02c63fca6d
Return wafers functions.
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hace 1 año |
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zhouhr
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6748e4b29b
fix the bug in UnloadRoutine as the name of vce InnerDoor is fixed.
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hace 1 año |
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zhouhr
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3c1ae4babb
add abort for VenusDE && fix bug in UI && add AbortJob,StopJob
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hace 1 año |
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sangwq
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c8e945317e
develop Pre/Post Clean functionalities.
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hace 1 año |
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hecl
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80bbf51f03
Fix Venus SE transfer bus
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hace 1 año |
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hecl
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c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
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hace 1 año |
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sangwq
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5b6817486a
enhance Venus dispatcher module.
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hace 1 año |
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sangwq
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98c6162bf2
fix the atm cycle bug.
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hace 1 año |
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sangwq
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7bf784cc5a
New routing algorithm for Venus SE/DE system.
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hace 1 año |
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zhouhr
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7b69f42c04
fix the bug in DE-ReadyForPickStatus
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hace 1 año |
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zhouhr
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2e70549fc8
fix bug in StationNumber(Aligner1)
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hace 1 año |
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zhouhr
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6e3aa49351
fix bug in SEMFPlaceRoutine
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hace 1 año |
