 lixiang
|
96661cadab
修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
преди 1 година |
 sangwq
|
b71003a42d
Fix the increasing aligner angle out of range bug.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
c5ba2fb197
Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
e61f018b66
Manual Return wafer while running cycle.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
0a0308458e
Enable drag wafer while module offline.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
6ffcff679e
Enhance throughput.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
3e445737a6
Align functions.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
a88d0012df
fix some AutoCycle/manualMove/ReturnWafer/Abort bugs.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
e0817cb012
现场bug修改
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
587a0094b4
fix logic error.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2b6f4986f3
fix Efemrobot scheduler bug.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
f216c69fcf
Enhance AutoCycle Module.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
c223835b1e
enhance AutoCycle module.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
3ee9634ad3
developing routing algorithm.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
d900c241bd
开发 AutoCycle 模块， 进行中
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
преди 2 години |
