 lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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 yangdb
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5987f80b26
1.增加sequence控件以及sequence内容编辑保存
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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 Intern01
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35c331e65f
topview解决冲突
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Intern01
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004b31d77e
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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lixiang
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7fe847dfd8
1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面
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 sangwq
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8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
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Intern01
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23c59d3c86
1.完成FA模块的功能开发
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sangwq
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d014b232e1
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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lixiang
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6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
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lixiang
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d3c29df415
Venus修复传片bug
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sangwq
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a4dfe941cc
Debug EFEM device driver.
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sangwq
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e64484a52f
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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sangwq
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c9282deeeb
EFEM Driver and simulator functions.
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Intern01
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8a99234204
1.增加prcocessdatahistory 页面GridSplitter，excel导出等功能，增加FA界面
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lixiang
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3be4fea304
优化传片动画
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lixiang
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9231cab4b9
1.修改topView ui
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lixiang
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7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
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sangwq
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16f00701e5
Redesign Recipe module.
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Intern01
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f61d947399
1.增加侧边参数选择与recipe选择下拉框
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lixiang
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acbb0f745b
efem报错不能运行
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lixiang
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8f80478982
1.添加IoSwitch
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sangwq
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5fc13b3f0c
New Efem design
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sangwq
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09de87bdab
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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lixiang
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fce40bc900
1.解决分子泵/chiller在线显示bug
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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Intern01
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cd8d139b3e
1.添加PrecessHistory界面与读取process_data表批次信息对应数据值信息线性图展示功能
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