JetPlasma/Kepler-Release

Автор	SHA1 Съобщение	Дата
lixiang	3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check	преди 1 година
lixiang	68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能	преди 1 година
lixiang	5f00a42d13 kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能	преди 2 години
lixiang	1d854ff197 添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关	преди 2 години
lixiang	a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300	преди 2 години
lixiang	7fe847dfd8 1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面	преди 2 години
lixiang	de406b964e 1.添加EFEM等ui界面	преди 2 години
lixiang	b6c2517c51 1.添加加热功能	преди 2 години
lixiang	7c817b8450 将钟摆阀最大值设到1000	преди 2 години
sangwq	630c7b7548 Wafer transfer routine done.	преди 2 години
sangwq	af96d139ff 2022年11月24日提交 RT 部分更改	преди 2 години