Историја ревизија

Аутор SHA1 Порука Датум
  lixiang 5f00a42d13 kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动,并添加模拟器与UI界面功能 пре 1 година
  lixiang 1d854ff197 添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关 пре 1 година
  lixiang a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300 пре 1 година
  lixiang 7fe847dfd8 1.分开Venus/Kepler OverView界面,之前公用一个Overview界面 пре 1 година
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 пре 2 година
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 пре 2 година
  lixiang 7c817b8450 将钟摆阀最大值设到1000 пре 2 година
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. пре 2 година
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 пре 2 година