 lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
hace 1 año |
|
lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
hace 1 año |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
hace 1 año |
|
lixiang
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
hace 1 año |
|
lixiang
|
96661cadab
修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug
|
hace 1 año |
 sangwq
|
052baa3ed3
fix the clear error command confirm sequence problem and PM pressure bug.
|
hace 1 año |
|
sangwq
|
8567277de8
typing error.
|
hace 1 año |
|
sangwq
|
d89a4c81f9
Enhance Routing algorithm and simulator configure file path.
|
hace 1 año |
|
sangwq
|
2b930e56b9
Log output for exception.
|
hace 2 años |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
hace 2 años |
