 lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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lixiang
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d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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lixiang
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f62e761ad2
修复小标题efem online/offline报警bug
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lixiang
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c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
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 sangwq
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9189e1b51f
new routing algorithm update.
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lixiang
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af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
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lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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lixiang
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e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
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lixiang
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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lixiang
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15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
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lixiang
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ef3841f212
atm模式移除PM控压
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lixiang
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5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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 zhouhr
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a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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zhouhr
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376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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sangwq
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c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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lixiang
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8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
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zhouhr
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31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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lixiang
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9e1de0e343
1.run recipe 参数bool改recipetype
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lixiang
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f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
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