 lixiang
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649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
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lixiang
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20cc441578
1.kepler2200 ui优化
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 sangwq
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3e445737a6
Align functions.
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lixiang
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3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
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 Intern01
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33f3e3a72e
1.complete parameters writing in pm routine
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lixiang
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9c33424896
解决冲突
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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 zhouhr
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bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
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zhouhr
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296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
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lixiang
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aad749230c
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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lixiang
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cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
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zhouhr
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2bcfec21f1
修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
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Intern01
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646fbf3676
PMProcessRoutine update
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lixiang
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179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
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lixiang
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93b4531b7b
robot 不能home问题提交
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Intern01
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c8473cb60c
1.增加Fa模块事件上报相关接口FaEvet，与recipejob,loadportjob事件上报接口
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lixiang
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6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
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sangwq
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16f00701e5
Redesign Recipe module.
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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sangwq
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6187ad5b4f
Interlock 优化
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sangwq
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46261ca338
enhance wafer manager.
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sangwq
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bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
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sangwq
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a244b205b9
Gas Flow and RF Power routine.
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sangwq
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c3154ba629
wafer manager.
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sangwq
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3222fa143a
Process module and Interlock .
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sangwq
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d8e5f1dc2c
2022 last update
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