 sangwq
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888ad3ea20
revolve conflict.
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il y a 2 ans |
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sangwq
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a244b205b9
Gas Flow and RF Power routine.
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il y a 2 ans |
 lixiang
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ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
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il y a 2 ans |
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sangwq
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c3154ba629
wafer manager.
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il y a 2 ans |
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sangwq
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2b930e56b9
Log output for exception.
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il y a 2 ans |
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lixiang
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6579ef1d85
解决冲突
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il y a 2 ans |
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lixiang
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3b8277256c
1.recipeHead添加expand
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il y a 2 ans |
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sangwq
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4e8a55f733
Endpoint Module.
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il y a 2 ans |
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sangwq
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f03c15cdaa
remove old epd.
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il y a 2 ans |
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sangwq
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3222fa143a
Process module and Interlock .
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il y a 2 ans |
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sangwq
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f8cec9a940
epd files missing.
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il y a 2 ans |
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sangwq
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0df76f75a5
obsolete output folder
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il y a 2 ans |
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sangwq
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d8e5f1dc2c
2022 last update
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il y a 2 ans |
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lixiang
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5e89c4da73
优化recipe代码
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il y a 2 ans |
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sangwq
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0050803370
update process Module
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il y a 2 ans |
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lixiang
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ee80e1676c
解决冲突
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il y a 2 ans |
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lixiang
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da4e6f6a4e
Recipe功能完善
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il y a 2 ans |
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sangwq
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0606b882bc
process module 1215
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il y a 2 ans |
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sangwq
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5d23b42797
recipe
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il y a 2 ans |
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lixiang
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f4683476ce
添加Output
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il y a 2 ans |
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lixiang
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f3ae3aeca8
添加recipe添加修改界面
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il y a 2 ans |
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sangwq
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847220c6ce
update for initial recipe design
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il y a 2 ans |
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lixiang
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65b982deaf
优化漏气check界面
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il y a 2 ans |
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sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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il y a 2 ans |
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lixiang
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93a863cbc0
overView流气功能提交
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il y a 2 ans |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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il y a 2 ans |
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lixiang
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081ab4daa5
添加多个UI界面
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il y a 2 ans |
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sangwq
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af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
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il y a 2 ans |
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sangwq
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64c7ef574e
log
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il y a 2 ans |
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lixiang
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b2b62fcc6b
添加LogEnum功能
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il y a 2 ans |
