 zhouhr
|
8cf03142ec
Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI
|
месяцев назад: 11 |
 lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 год назад |
 hecl
|
ea59788c5a
Venuse DE routine update &fix config can't hide bugs
|
1 год назад |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
1 год назад |
 sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
a268651d10
1.添加configview和部分mfcverificationview
|
лет назад: 2 |
