 lixiang
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6447434c5b
Venus代码删除
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6 月之前 |
 zhouhr
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b6309f712c
upload for Venus SE/DE
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8 月之前 |
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lixiang
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33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
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10 月之前 |
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lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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11 月之前 |
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lixiang
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ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
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11 月之前 |
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zhouhr
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7a07ffa5ca
1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml
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1 年之前 |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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1 年之前 |
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lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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1 年之前 |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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1 年之前 |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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1 年之前 |
 hecl
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9d28f8ee7d
1.Add Tru match
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1 年之前 |
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lixiang
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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1 年之前 |
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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1 年之前 |
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lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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1 年之前 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 年之前 |
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lixiang
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87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
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1 年之前 |
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hecl
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c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
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1 年之前 |
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lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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1 年之前 |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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1 年之前 |
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lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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1 年之前 |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 年之前 |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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1 年之前 |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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1 年之前 |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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1 年之前 |
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zhouhr
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3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
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1 年之前 |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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1 年之前 |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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1 年之前 |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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1 年之前 |
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lixiang
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62feaac5e7
1.优化跑片动画
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1 年之前 |
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lixiang
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894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
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1 年之前 |
