 lixiang
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
7 місяців тому |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
8 місяців тому |
|
lixiang
|
ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
|
9 місяців тому |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
9 місяців тому |
|
lixiang
|
a1cec725e5
修复TM Vent 配置文件报错bug
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
11 місяців тому |
 sangwq
|
8cb06f14db
fix routing new wafer algorithm bug and add throughput trace log.
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
52349cad2b
Duplicated wafer functions.
|
1 рік тому |
 hecl
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
b85b9aa79f
fix some routing bugs.
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
709c7a1c10
fixed the routing bug while B In B Out.
|
1 рік тому |
 chenkui
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
ec2f97e62d
enhance log.
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 рік тому |
 zhouhr
|
b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
4e5194bce2
add Analysis of EFEM Hardware Error Codes && Monitor of Current Application Resources
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
c223835b1e
enhance AutoCycle module.
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
|
1 рік тому |
 yangdb
|
045eae5c75
1.sequence和recipe修改日志输出格式
|
2 роки тому |
 Intern01
|
23c59d3c86
1.完成FA模块的功能开发
|
2 роки тому |
|
sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
2 роки тому |
|
sangwq
|
ed992dd631
Enhance the Log Info
|
2 роки тому |
|
sangwq
|
44ec74603f
TM Transfer
|
2 роки тому |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
2 роки тому |
|
lixiang
|
f48943cfd1
解决冲突
|
2 роки тому |
