 lixiang
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
11 місяців тому |
 zhouhr
|
dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
|
1 рік тому |
 sangwq
|
98c6162bf2
fix the atm cycle bug.
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
1 рік тому |
 hecl
|
f814cf53a8
1.Add simulator read RF ConfigType function
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
1 рік тому |
|
hecl
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
1 рік тому |
|
hecl
|
d15749f5b1
1.fix VenusSE show chiler temp bugs
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
|
1 рік тому |
