 sangwq
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a88d0012df
fix some AutoCycle/manualMove/ReturnWafer/Abort bugs.
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1 年之前 |
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sangwq
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d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
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1 年之前 |
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sangwq
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69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
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1 年之前 |
 zhouhr
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038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
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1 年之前 |
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sangwq
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6a29fad5f9
update for unload/PMleakcheck bugs
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1 年之前 |
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sangwq
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ff17e9c447
develop autycylce/manualmove module.
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1 年之前 |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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1 年之前 |
 lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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1 年之前 |
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sangwq
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3ee9634ad3
developing routing algorithm.
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1 年之前 |
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sangwq
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9f239420d8
improve the efem code.
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1 年之前 |
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lixiang
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85fc03f838
1.添加部分OpertionOverView ui功能
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1 年之前 |
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sangwq
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60d1bca02a
update cycle module, not finished.
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1 年之前 |
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sangwq
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e8f7e93461
EPD
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1 年之前 |
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sangwq
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e64484a52f
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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1 年之前 |
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lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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1 年之前 |
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sangwq
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c9282deeeb
EFEM Driver and simulator functions.
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1 年之前 |
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lixiang
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3be4fea304
优化传片动画
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1 年之前 |
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lixiang
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9231cab4b9
1.修改topView ui
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1 年之前 |
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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1 年之前 |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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1 年之前 |
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sangwq
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39dd3fa41f
Enable Com debug log.
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1 年之前 |
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sangwq
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ed992dd631
Enhance the Log Info
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2 年之前 |
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sangwq
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dff905345f
增加PMB的兼容
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2 年之前 |
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sangwq
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66557b65bb
TMCycle not finished.
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2 年之前 |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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2 年之前 |
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sangwq
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a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
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2 年之前 |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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2 年之前 |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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2 年之前 |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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2 年之前 |
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sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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2 年之前 |
