Historie revizí

Autor SHA1 Zpráva Datum
  lixiang 530ddcbae7 优化topview界面 před 1 rokem
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 před 1 rokem
  lixiang a64bed3d6c 1.Run recipe 功能现场修改 před 1 rokem
  lixiang c060fde154 1.Recipe Edit 添加配置功能 před 1 rokem
  lixiang 280432bb82 1.TM传片动画制作,UI界面优化 před 2 roky
  sangwq 096c873956 Sequence SPEC update. před 2 roky
  lixiang 1f1fb71be3 1.2023/02/17现场rt代码修改 před 2 roky
  sangwq 0606b882bc process module 1215 před 2 roky
  sangwq 847220c6ce update for initial recipe design před 2 roky
  sangwq 8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done. před 2 roky
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 před 2 roky