 lixiang
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031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
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hace 5 meses |
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lixiang
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f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
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hace 6 meses |
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lixiang
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add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
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hace 9 meses |
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lixiang
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10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
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hace 9 meses |
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lixiang
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a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
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hace 10 meses |
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lixiang
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ca702b093b
1.alarm List 收集到300+条，并添加到程序里
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hace 11 meses |
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lixiang
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8e660cd7a8
1.去除carrierid ;字符
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hace 11 meses |
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lixiang
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79ffe0c064
1.分开Kepler与Venus SequenceView界面
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hace 11 meses |
 sangwq
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72419fe36a
enhance throughput and skip repeat loadlock pumping/venting.
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hace 1 año |
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lixiang
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401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
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hace 1 año |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hace 1 año |
 kuangzl
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cfd9253e8a
Modified the style of the venusDE page and added the DERobot movement.
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hace 1 año |
 zhouhr
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eff7f8a03e
upload missing files
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hace 1 año |
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zhouhr
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dd99f38e54
change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE
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hace 1 año |
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lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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hace 1 año |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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hace 1 año |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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hace 1 año |
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zhouhr
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cc04adb731
change the location of the PA from VPA to Aligner1
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hace 1 año |
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lixiang
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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hace 1 año |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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hace 1 año |
 hecl
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f814cf53a8
1.Add simulator read RF ConfigType function
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hace 1 año |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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hace 1 año |
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hecl
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aed602cdc9
1.Add Tru rf/match Reconnect function
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hace 1 año |
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hecl
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0a2d5ac547
Venus DE TM simulator add
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hace 1 año |
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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hace 1 año |
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hace 1 año |
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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hace 1 año |
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hecl
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945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
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hace 1 año |
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hecl
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2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
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hace 1 año |
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lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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hace 1 año |
