 sangwq
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5687e44ebc
Enhance routing algorithm.
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hai 1 ano |
 lixiang
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401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
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hai 1 ano |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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hai 1 ano |
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sangwq
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7a1faeac74
Redesign the EFEM module for thread safe issue.
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hai 1 ano |
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sangwq
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4f7a01400f
fix the sync issue for efem socket.
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hai 1 ano |
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sangwq
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8f537a79cb
Pause/Resume function and enhance duplicated function while transfer wafer timeout.
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hai 1 ano |
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sangwq
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991036681f
enhance the duplicated wafer functions.
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hai 1 ano |
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sangwq
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52349cad2b
Duplicated wafer functions.
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hai 1 ano |
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sangwq
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e61f018b66
Manual Return wafer while running cycle.
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hai 1 ano |
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sangwq
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88b91b4ea3
fix routing bugs.
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hai 1 ano |
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sangwq
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73f0d306a7
Enhance routing algorithm.
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hai 1 ano |
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sangwq
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61173b6866
Added Auto Vent/Pump log for tracing trigger issue.
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hai 1 ano |
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sangwq
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c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
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hai 1 ano |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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hai 1 ano |
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sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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hai 1 ano |
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sangwq
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8020492bf4
fix action list buffer not reset while swap wafer.
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hai 1 ano |
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sangwq
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a88d0012df
fix some AutoCycle/manualMove/ReturnWafer/Abort bugs.
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hai 1 ano |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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5fc13b3f0c
New Efem design
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
