 lixiang
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031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
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hace 5 meses |
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lixiang
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54c8557dd6
调度优化
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hace 6 meses |
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lixiang
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a9d8e56970
1.扩展alarm list
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hace 11 meses |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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hace 1 año |
 sangwq
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72419fe36a
enhance throughput and skip repeat loadlock pumping/venting.
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hace 1 año |
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lixiang
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401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
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hace 1 año |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hace 1 año |
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lixiang
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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hace 1 año |
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lixiang
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464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
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hace 1 año |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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hace 1 año |
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lixiang
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ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
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hace 1 año |
 zhouhr
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13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
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hace 1 año |
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hace 1 año |
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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hace 1 año |
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lixiang
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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hace 1 año |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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hace 1 año |
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lixiang
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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hace 1 año |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hace 1 año |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hace 1 año |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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hace 1 año |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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hace 1 año |
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sangwq
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2694bdc96c
Enhance the Pre-rotation function
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hace 1 año |
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sangwq
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baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
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hace 1 año |
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lixiang
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3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
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hace 1 año |
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lixiang
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9c33424896
解决冲突
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hace 1 año |
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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hace 1 año |
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sangwq
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3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
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hace 1 año |
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sangwq
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d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
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hace 1 año |
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lixiang
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1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
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hace 1 año |
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sangwq
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69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
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hace 1 año |
