 lixiang
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
преди 6 месеца |
 zhouhr
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
преди 9 месеца |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
7fe847dfd8
1.分开Venus/Kepler OverView界面，之前公用一个Overview界面
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
7c817b8450
将钟摆阀最大值设到1000
|
преди 2 години |
 sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
преди 2 години |
