 lixiang
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9c33424896
解决冲突
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1 年之前 |
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lixiang
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ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
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1 年之前 |
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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1 年之前 |
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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1 年之前 |
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lixiang
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9f512c69c9
优化efem动画
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1 年之前 |
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lixiang
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46aa26403c
优化压差开siltdoor功能
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1 年之前 |
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lixiang
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00d42e8c17
efem动画优化
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1 年之前 |
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lixiang
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5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
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1 年之前 |
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lixiang
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afb706578a
添加CycleCount/WaferCount显示
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1 年之前 |
 sangwq
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2fb8490f3a
Update TM software interlock about Loadlock slit door open issue.
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1 年之前 |
 zhouhr
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296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
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1 年之前 |
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zhouhr
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2bcfec21f1
修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
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1 年之前 |
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zhouhr
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c8ec52ec1e
修复下手臂无法右键的问题
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1 年之前 |
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sangwq
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6a29fad5f9
update for unload/PMleakcheck bugs
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1 年之前 |
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zhouhr
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f56f80e34a
完善UI 拖片 LP的job显示效果、传参 修改Robot槽位显示效果 TM数据绑定 return wafer等
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1 年之前 |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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1 年之前 |
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lixiang
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2cc409c5f8
合并代码
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1 年之前 |
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lixiang
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85fc03f838
1.添加部分OpertionOverView ui功能
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1 年之前 |
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lixiang
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179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
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1 年之前 |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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1 年之前 |
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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1 年之前 |
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lixiang
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6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
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1 年之前 |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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2 年之前 |
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lixiang
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93a863cbc0
overView流气功能提交
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2 年之前 |
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lixiang
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081ab4daa5
添加多个UI界面
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2 年之前 |
