 lixiang
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8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
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lixiang
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ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
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lixiang
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894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
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lixiang
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a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
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lixiang
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b253c8fadd
1.添加旋转动画
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lixiang
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0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
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lixiang
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f1c36cc209
添加提交
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lixiang
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5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
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lixiang
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5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
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lixiang
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d26cf018d7
修复自动计算c1c2值bug
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lixiang
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20cc441578
1.kepler2200 ui优化
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lixiang
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ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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 zhouhr
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bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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