 lixiang
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46aa26403c
优化压差开siltdoor功能
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2 years ago |
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lixiang
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5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
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2 years ago |
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lixiang
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124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
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2 years ago |
 sangwq
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7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
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2 years ago |
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sangwq
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aaf8372896
兼容 两种 endpoint, 未完成
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2 years ago |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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2 years ago |
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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2 years ago |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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2 years ago |
